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真空泵用于抽除容器内气体建立真空，广泛用于真空包装、真空镀膜、真空干燥、半导体工艺、实验室等场合。常见类型：旋片泵（油封）、干式泵、罗茨泵、螺杆泵。旋片泵因性价比高应用最广，但需要油品维护。
1. 油的作用：密封（泵腔密封）、润滑（旋片与泵体）、冷却；2. 油位：油标中线（缺油会导致抽速下降与泵体磨损）；3. 油品：专用真空泵油（矿物油/合成油），粘度合适；4. 换油周期：一般每1000-2000小时或半年（视工况）；5. 换油方法：热机放油（杂质悬浮）、清洗泵腔（冲洗油）、加新油至油标；6. 油质检查：乳化（进水）、变黑（污染）、粘度变化即换油。
1. 进气口装过滤器（粉尘进入磨损泵体）；2. 排气口通畅（背压过大影响抽速）；3. 检查油雾滤清器（堵塞更换）；4. 电机与风扇清洁；5. 环境通风散热（泵温<70℃）；6. 长期停用定期短时运行（防止锈蚀卡滞）。
1. 抽速下降：油量不足、油乳化、进气滤芯堵塞、泵体磨损；2. 噪声大：缺油润滑不良、叶片磨损；3. 返油：油量过多或停机时返油（装截止阀）；4. 温度高：油量少、散热差、负载大。
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